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真空感應化學氣相沉積爐真空感應化學氣相沉積爐是在真空或保護氣氛下，利用中頻感應原理將置于感應線圈內的石墨坩堝加熱，也可電阻加熱，石墨坩堝中放入被制備的碳-碳復合材料。在一定溫度下將坩堝加熱到規(guī)定溫度，并通入稀釋的碳氫氣體。該氣體
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